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清华大学 [1]
北京大学 [1]
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期刊论文 [2]
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2016 [2]
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发表日期:2016
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膜/块体结构氧化物复合磁电材料研究进展
期刊论文
2016, 2016
王婧
;
吴霞
;
邓朝勇
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朱孔军
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南策文
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WANG Jing
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WU Xia
;
DENG Chao-Yong
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ZHU Kong-Jun
;
NAN Ce-Wen
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基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究
期刊论文
传感技术学报, 2016
张义川
;
缪旻
;
方孺牛
;
唐小平
;
卢会湘
;
严英占
;
金玉丰
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提交时间:2017/12/03
低温共烧陶瓷
加速度计
微机械加工
三维集成
微系统
accelerometer
ceramic micromachining
three-dimensional integration
microsystem
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