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苏州纳米技术与纳米仿... [1]
山东大学 [1]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2015 [4]
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发表日期:2015
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侧壁粗化提高GaN基发光二极管出光效率的研究
期刊论文
2015
李晓莹
;
朱丽虹
;
邓彪
;
张玲
;
刘维翠
;
曾凡明
;
刘宝林
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/05/17
GaN
发光二极管
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀
侧壁粗化
出光效率
GaN
light-emitting diode(LED)
inductively coupled plasma(ICP)etching
sidewall texturing
light output efficiency
Fabrication and Characterization of a Single Electron Transistor Based on a Silicon-on-Insulator
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2015, 卷号: 32, 期号: 4, 页码: 3
作者:
Su, LN(苏丽娜)
;
Lv, L(吕利)
;
Li, XX(李欣幸)
;
Qin, H(秦华)
;
Gu, XF
收藏
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浏览/下载:29/0
  |  
提交时间:2015/12/31
A preliminary study of SF6 based inductively coupled plasma etching techniques for beta gallium trioxide thin film
期刊论文
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2015, 卷号: 39, 页码: 582-586
作者:
Liang, Hongwei
;
Chen, Yuanpeng
;
Xia, Xiaochuan
;
Zhang, Chao
;
Shen, Rensheng
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2019/12/09
beta-Ga2O3 thin film
ICP etching
SF6
Dry etching
Electrical properties of Hg1-xCdxTe by different etching techniques
期刊论文
INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2015, 卷号: 73, 页码: 251-254
作者:
Chen, X. T.
;
Qiao, H.
;
Liu, X. Y.
;
Yang, K. J.
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/17
HgCdTe
Ion beam milling (IBM)
Inductively coupled plasma (ICP)
etching
Hall effect
Mobility spectrum
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