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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A chip-scale chemical mechanical planarization model for copper interconnect structures 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2015 作者:  Xu QZ(徐勤志);  Fang JJ(方晶晶);  Chen L(陈岚) 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2016/06/02 A Material Removal Rate Model for Aluminum Gate Chemical Mechanical Planarization 期刊论文 ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2015 作者:  Xu QZ(徐勤志);  Chen L(陈岚) 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/06/02 Polystyrene-Core Silica-Shell Composite Abrasives: The Influence of Core Size on Oxide Chemical Mechanical Planarization 期刊论文 JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2015, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 2522-2528 作者:  Chen, Ailian[1];  Chen, Yang[2];  Ding, Jianning[3] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/24 Core/shell structure  composite particle  core size  chemical mechanical planarization