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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111 作者:  邢莎莎;  冉英华;  江海波 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/01 成像系统  照明模式变换  自由照明光瞳  微反射镜阵列  光束整形  非球面复眼   基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 122005 作者:  宋强;  朱菁;  王健;  张方;  吕向博 收藏  |  浏览/下载：90/0  |  提交时间：2016/11/28