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低温等离子体辅助脉冲直流磁控溅射制备TiN薄膜 期刊论文
真空科学与技术学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 1192
作者:  吕起鹏;  李刚;  公发全;  王锋;  卢俊
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2015/11/16
高能冲击磁控溅射等离子体发生与成膜控制平台 仪器设备
联系方式: 010-82544266, 建成日期: 2014
作者:  李光
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2019/09/17
轴向磁场对电弧离子镀TiN薄膜组织结构及力学性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2014, 期号: 1, 页码: 56-61
赵彦辉; 郭朝乾; 杨文进; 陈育秋; 肖金泉; 于宝海
收藏  |  浏览/下载:51/0  |  提交时间:2015/05/11
轴向磁场强度对真空电弧离子镀TiN薄膜的影响 期刊论文
南昌大学学报(理科版), 2014, 期号: 5, 页码: 458-462
徐焱良; 王向红; 赵彦辉; 高斌; 肖金泉; 于宝海
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2015/05/11
脉冲偏压对离子束辅助电弧离子镀TiN/Cu纳米复合膜结构及硬度的影响 期刊论文
真空科学与技术学报, 2014, 期号: 10, 页码: 1040-1046
李凤岐; 冯丹; 赵彦辉; 于宝海
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2015/01/15
离子束对电弧离子镀TiN/Cu纳米复合薄膜组织结构及硬度的影响 会议论文
第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛, 中国湖北武汉, 2014
赵彦辉; 冯丹; 李凤岐; 于宝海
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2015/05/08
采用Sn中介层的覆Al薄膜硅片键合技术研究 期刊论文
北京大学学报 自然科学版, 2014
朱智源; 于民; 胡安琪; 王少南; 缪旻; 陈兢; 金玉丰
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2015/11/12
硕士论文-CSNS/RCS二极陶瓷真空盒镀氮化钛薄膜研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2014
作者:  张洪涛
收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2015/10/12
离子轰击对HIPIMS制备TiN薄膜结构和性能的影响 期刊论文
真空科学与技术学报, 2014, 卷号: 3, 页码: 256-260
王振玉; 张栋; 柯培玲; 刘新才; 汪爱英
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2015/04/16
多弧离子镀TiN薄膜颜色性能的研究 (EI收录) 期刊论文
《真空科学与技术学报》, 2014, 页码: 694-699
作者:  张启沛[1];  钟喜春[1] 杨怡帆[1];  李春明[1];  曾德长[1];  邱万奇[1]
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2019/04/25


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