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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2014     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2015/04/17 光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差   基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  朱锋 收藏  |  浏览/下载：140/0  |  提交时间：2016/11/28 激光并行直写  自动聚焦  达曼光栅  微纳加工  误差分析与校正