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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2014    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 极紫外光刻投影物镜波像差检测技术研究 会议论文 作者:  唐锋;  王向朝;  郭福东;  冯鹏;  张国先 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28 基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2016/11/25 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/28 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口