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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2013     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法 期刊论文 中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 9, 页码: 908001 作者:  胡中华;  朱菁;  杨宝喜;  彭雪峰;  曾爱军 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计 期刊论文 中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 616001 作者:  胡中华;  宝喜;  朱菁;  肖艳芬;  曾爱军 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2016/11/28