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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2013    学科主题：材料科学与物理化学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文 功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35 作者:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩 收藏  |  浏览/下载：114/0  |  提交时间：2013/12/10 磁控溅射  TiAlN 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  magnetron sputtering  TiAlN films  nitrogen flow  microstructure  hardness   中频磁控溅射制备不同S/W 原子比WSx薄膜的结构和摩擦学性能研究 期刊论文 摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 507-513 作者:  徐书生;  高晓明;  胡明;  孙嘉奕;  翁立军 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/12/23 中频磁控溅射  WSx薄膜  S/W原子比  摩擦磨损  medium frequency magnetron sputtering  WSx film  S/W ratio  friction and wear