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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Al互连线和Cu互连线的EBSD分析 会议论文 刘志民; 罗俊锋; 王俊忠; 张隐奇; 吉元 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/06/16 互连线:7743,电子背散射衍射:2809,晶粒结构:2367,金属化系统:2333,微电子器件:2063,反应离子:1962,晶粒取向:1872,热生长:1862,刻蚀工艺:1819,显微结构:1643