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沈阳自动化研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [2]
发表日期
2011 [5]
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发表日期:2011
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基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究
期刊论文
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 期号: 2, 页码: 132-137
作者:
董再励
;
曲艳丽
;
周磊
;
刘柱
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/05/29
光诱导介电泳
氢化非晶硅
光电导薄膜
自动化操作
ODEP芯片
虚拟电极
运动速度
聚苯乙烯
交流电压
实验研究
磁控溅射沉积氢化非晶硅薄膜及其结晶过程的研究
学位论文
: 西安理工大学, 2011
作者:
苗启林
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/20
磁控溅射
非晶硅薄膜
退火晶化
晶化率
晶粒尺寸
溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断
期刊论文
2011, 卷号: 31, 页码: 476-480
作者:
李洪涛
;
蒋百灵
;
杨波
;
曹政
;
郭维华
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/20
磁控溅射
Langmuir探针
等离子体
离子密度
电子密度
基于反射和透射光谱的氢化非晶硅薄膜厚度及光学常量计算
期刊论文
光子学报, 2011, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 1096-1100
作者:
丁文革[1]
;
苑静[2]
;
李文博[3]
;
李彬[4]
;
于威[5]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/21
氢化非晶硅
透射谱
薄膜厚度
光学常量
PECVD多功能沉积系统制备氢化非晶硅、碳薄膜的工艺研究
学位论文
: 大连理工大学, 2011
作者:
盛松科
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/18
电感耦合
氢化非晶硅薄膜
沉积速率
类金刚石薄膜
脉冲负偏压
硬度
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