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基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究 期刊论文
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 期号: 2, 页码: 132-137
作者:  董再励;  曲艳丽;  周磊;  刘柱
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磁控溅射沉积氢化非晶硅薄膜及其结晶过程的研究 学位论文
: 西安理工大学, 2011
作者:  苗启林
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溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断 期刊论文
2011, 卷号: 31, 页码: 476-480
作者:  李洪涛;  蒋百灵;  杨波;  曹政;  郭维华
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基于反射和透射光谱的氢化非晶硅薄膜厚度及光学常量计算 期刊论文
光子学报, 2011, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 1096-1100
作者:  丁文革[1];  苑静[2];  李文博[3];  李彬[4];  于威[5]
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PECVD多功能沉积系统制备氢化非晶硅、碳薄膜的工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2011
作者:  盛松科
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