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单晶硅衬底异质外延3C-SiC薄膜研究进展 期刊论文
硅酸盐通报, 2011, 卷号: 30, 期号: 5, 页码: 1083-1088
石彪; 朱明星; 陈义; 刘学超; 杨建华; 施尔畏
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