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两步氧离子注入工艺制备SOI材料研究 期刊论文
科学通报, 2010, 期号: 19
魏星; 薛忠营; 武爱民; 王湘; 李显元; 叶斐; 陈杰; 陈猛; 张波; 林成鲁; 张苗; 王曦
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