×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
半导体研究所 [5]
上海微系统与信息技术... [2]
北京大学 [1]
大连理工大学 [1]
金属研究所 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
更多...
内容类型
期刊论文 [12]
发表日期
2009 [12]
学科主题
半导体材料 [2]
Chemistry,... [1]
Chemistry;... [1]
Materials ... [1]
光电子学 [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共12条,第1-10条
帮助
限定条件
发表日期:2009
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
Growth-parameter spaces and optical properties of cubic boron nitride films on si(001)
期刊论文
Chinese physics letters, 2009, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 4
作者:
Fan Ya-Ming
;
Zhang Xing-Wang
;
You Jing-Bi
;
Ying Jie
;
Tan Hai-Ren
收藏
  |  
浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2019/05/12
Comparison and combination of several stress relief methods for cubic boron nitride films deposited by ion beam assisted deposition
期刊论文
Surface & coatings technology, 2009, 卷号: 203, 期号: 10-11, 页码: 1452-1456
作者:
Fan, Y. M.
;
Zhang, X. W.
;
You, J. B.
;
Tan, H. R.
;
Chen, N. F.
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2019/05/12
Cubic boron nitride
Stress relaxation
Ion beam assisted deposition
Fourier transformed infrared spectroscopy
Study of Indium Tin Oxide Thin Films Deposited on Acrylics Substrates by Ion Beam Assisted Deposition Technique
期刊论文
Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2009, 卷号: 9, 期号: 7, 页码: 4151-4155
Meng L. J.
;
Liang E. J.
;
Gao J. S.
;
Teixeira V.
;
dos Santos M. P.
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2013/03/27
Effect of temperature on residual stress and mechanical properties of Ti films prepared by both ion implantation and ion beam assisted deposition
期刊论文
Applied Surface Science, 2009, 卷号: 255, 期号: 8, 页码: 4484-4490
Y. He
;
J. Z. Zhang
;
W. Q. Yao
;
D. X. Li
;
X. Teng
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2012/04/13
Titanium
Residual stress
MEVVA
IBAD
Nanohardness
XRD
shape-memory alloy
tribological properties
silicon
relaxation
aluminum
behavior
Patterning of visible/infrared dual-band microstrip filter arrays for multispectral imaging application
期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2009
Lai, Jian-Jun
;
Liang, Hua-Feng
;
Zhou, Zhi-Ping
;
Fang, Guo-Jia
;
Li, Li
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/11/16
LIFT-OFF PROCESS
FABRICATION
Formation of Pt-C films by ion beam assisted deposition for the application of suppression thermo-electron emission
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009, 卷号: 255, 期号: 7, 页码: 4145-4148
Feng, T
;
Jiang, BY
;
Wang, X
;
Liu, XH
;
Sun, Z
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2012/03/24
EMITTING GRID APPLICATIONS
DIAMOND-LIKE CARBON
RAMAN-SPECTROSCOPY
HAFNIUM FILM
THIN-FILMS
Formation of Pt-C films by ion beam assisted deposition for the application of suppression thermo-electron emission
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009, 卷号: 255, 期号: 7, 页码: 4145-4148
Feng, T
;
Jiang, BY
;
Wang, X(重点实验室)
;
Liu, XH
;
Sun, Z
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2013/05/10
Chemistry
Materials Science
Physics
Physics
Physical
Coatings & Films
Applied
Condensed Matter
Deposition of dense and smooth Ti films using ECR plasma-assisted magnetron sputtering
期刊论文
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 203, 期号: 22, 页码: 3356-3360
作者:
Zhang, L
;
Shi, LQ
;
He, ZJ
;
Zhang, B
;
Lu, YF
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2016/06/29
Ti thin film
Magnetron sputtering
ECR plasma
Inductively coupled plasma etching in fabrication of 2D InP-based photonic crystals
期刊论文
journal of vacuum science & technology b, 2009, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 1093-1096
Wang HL
;
Xing MX
;
Ren G
;
Zheng WH
收藏
  |  
浏览/下载:122/0
  |  
提交时间:2010/03/08
III-V semiconductors
indium compounds
photonic crystals
plasma materials processing
semiconductor lasers
sputter etching
Comparison and combination of several stress relief methods for cubic boron nitride films deposited by ion beam assisted deposition
期刊论文
surface & coatings technology, 2009, 卷号: 203, 期号: 10-11, 页码: 1452-1456
作者:
Tan HR
;
Zhang XW
;
You JB
;
Fan YM
收藏
  |  
浏览/下载:262/33
  |  
提交时间:2010/03/08
Cubic boron nitride
Stress relaxation
Ion beam assisted deposition
Fourier transformed infrared spectroscopy
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace