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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2009     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 相变存储器加热电极与相变材料刻蚀工艺研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 冯高明 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2012/03/06 相变存储器  　Ge2Sb2Te5  　纳米电极  　干法刻蚀  　工艺集成　   相变存储器芯片集成工艺关键技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 徐成 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/06 相变存储器  　加热层材料  　新型相变材料  　工艺集成  　器件失效