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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009    内容类型：期刊论文    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法 期刊论文 微纳电子技术, 2009 刘鹏; 张大成; 李婷; 罗葵; 田大宇; 李静 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/11 三维刻蚀  反应离子刻蚀  湿法刻蚀  高深宽比  聚合物