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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2009    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于硅衬底氮化镓材料的MEMS微结构加工工艺 其他 2009-01-01 吕佳楠; 杨振川; 闫桂珍; 陈敬 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/11/12 氮化镓 微结构 加工工艺 干法刻蚀 悬浮结构   基于表面牺牲层工艺微谐振器的金属化与释放 其他 2009-01-01 黄一峰; 阎博; 陈兢 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 微谐振器 多晶硅 表面牺牲层 制备工艺   超磁致伸缩材料的力-磁-热本构实验 其他 2009-01-01 裴永茂; 高旭; 方岱宁 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/10/23 超磁致伸缩材料  耦合特性  热耦合  物理参数  功能材料  磁致伸缩  航空航天  内部状态  测试技术  能量密度