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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 发表日期：2008    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Low-temperature synthesis and photocatalytic properties of ZnO nanotubes by thermal oxidation of Zn nanowires 期刊论文 NANOTECHNOLOGY, 2008, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 45605-45605 Lu, HB; Li, H; Liao, L; Tian, Y; Shuai, M; Li, JC; Fhu, M; Fu, Q; Zhu, BP 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/24 EXCITONIC STIMULATED-EMISSION  VAPOR-DEPOSITION  OPTICAL-PROPERTIES  CATALYTIC GROWTH  THIN-FILMS  MICROTUBES  NANOBELTS  NANORODS  ARRAYS   Reactive-ion etching of Ge2Sb2Te5 in CF4/Ar plasma for non-volatile phase-change memories 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 8, 页码: 1699-1704 Feng, GM; Liu, B; Song, ZT; Feng, SL; Chen, BM 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/24 THIN-FILMS   A novel fabrication process of MEMS devices on polyimide flexible substrates 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 2, 页码: 452-457 Xiao, SY; Che, LF; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/12/17 SENSOR ARRAY  HEATER  FILMS  SKIN   Investigation of the extinction coefficient of PECVD hydrogenated amorphous silicon nitride films 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 8, 页码: 85001-85001 Yan, X; Feng, F; Yang, GL; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2011/12/17 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  THIN-FILMS  PLASMA  ABSORPTION  MIXTURES  MODEL   A novel fabrication process of MEMS devices on polyimide flexible substrates 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 2, 页码: 452-457 Xiao, SY; Che, LF; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2011/12/17 SENSOR ARRAY  HEATER  FILMS  SKIN   A method for AlCu interconnect electromigration performance predicting and monitoring 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 3, 页码: 577-581 Zhang, WJ; Yi, LW; Chang, PY; Wu, J 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/03/24 TEXTURE  LINES  FILMS