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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2008    内容类型：期刊论文    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高性能193nm反射膜的制备与误差分析 期刊论文 应用激光, 2008, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 207 尚淑珍; 徐山清; 邵建达 收藏  |  浏览/下载：900/173  |  提交时间：2009/09/22 193nm  反射膜  误差分析  吸收  散射