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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2008    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Characterizing Metallization Introduced Polysilicon Corrosion of Surface Micromachined Structures with Submicron Capacitive Gap 其他 2008-01-01 Wang, Yunda; Cai, Ming; Wang, Ying; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13 HF release  Polysilicon corrosion  Au  parylene  POROUS SILICON