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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2007     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究 期刊论文 光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 1377-1382 作者:  杜立群;  朱神渺 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/27 SU-8  内应力测量  基片曲率法  Stoney 公式