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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2007    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effect of chemicals on chemical mechanical polishing of glass substrates 期刊论文 CHINESE PHYSICS LETTERS, 2007, 卷号: 24, 期号: 1, 页码: 259-261 Wang, LY; Zhang, KL; Song, ZT; Feng, SL 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/03/24 ABRASIVES  SURFACE   Colloidal nano-abrasives and slurry for chemical-mechanical polishing of semiconductor materials 期刊论文 JOURNAL OF CERAMIC PROCESSING RESEARCH, 2007, 卷号: 8, 期号: 1, 页码: 52-55 Zhang, KL; Song, ZT; Lin, CL; Feng, SF; Chen, B 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/24 PLANARIZATION   Ceria concentration effect on chemical mechanical polishing of optical glass 期刊论文 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2007, 卷号: 253, 期号: 11, 页码: 4951-4954 Wang, LY; Zhang, KL; Song, ZT; Feng, SL 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/03/24 OXIDE FUEL-CELL  TECHNOLOGIES  ABRASIVES  DEFECT