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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2007    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种全光学微机械非致冷红外热成像芯片结构及制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN1994861, 申请日期: 2007-07-11, 公开日期: 2007-07-11 李铁; 周玉修; 王翊; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响 期刊论文 光学精密工程, 2007, 期号: 05 杨广立; 冯飞; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06 微系统  细胞研究  细胞图形化  微加工   微机械反射式光读出非制冷红外成像阵列器件研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 杨广立   收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  反射式光读出非致冷红外成像阵列器件  双材料梁-微镜一体化  热-机械灵敏度  等效噪声温差