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超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-08-17, 公开日期: 2005-08-17
宋文荣; 何惠阳; 王延风; 于国飞; 查明
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