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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2002    内容类型：会议论文    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Design and fabrication of a novel two-dimension MEMS-based tunable capacitor 会议论文 Wang, CS; Yang, ZC; Cui, YJ; Fang, A; Zhang, DC 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 ICCCAS02  paper style  sample   Oscillation behavior of two MEMS structures 会议论文 Fang, J; Chang, S; Wang, CS; Zhang, WB 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13 MEMS structures  oscillation behavior  response of microgyroscope  residual stress in bulk-fabricated plate