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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2002 [2]
学科主题
半导体物理 [2]
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发表日期:2002
学科主题:半导体物理
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Structural properties of polycrystalline silicon films formed by pulsed rapid thermal processing
期刊论文
chinese physics, 2002, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 492-495
Wang YQ
;
Liao XB
;
Diao HW
;
Zhang SB
;
Xu YY
;
Chen CY
;
Chen WD
;
Kong GL
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提交时间:2010/08/12
polycrystalline silicon film
rapid thermal processing
microstructure
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
AMORPHOUS-SILICON
PRESSURE
TRANSISTORS
CRYSTALLIZATION
GROWTH
Getting high-efficiency photoluminescence from Si nanocrystals in SiO2 matrix
期刊论文
applied physics letters, 2002, 卷号: 81, 期号: 22, 页码: 4174-4176
Wang YQ
;
Kong GL
;
Chen WD
;
Diao HW
;
Chen CY
;
Zhang SB
;
Liao XB
收藏
  |  
浏览/下载:57/0
  |  
提交时间:2010/08/12
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POROUS SILICON
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SUPERLATTICES
LUMINESCENCE
FABRICATION
RECRYSTALLIZATION
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