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科研机构
半导体研究所 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2001 [3]
学科主题
半导体物理 [3]
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发表日期:2001
学科主题:半导体物理
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Microtwins and twin inclusions in the 3C-SiC epilayers grown on Si(001) by APCVD
期刊论文
science in china series a-mathematics physics astronomy, 2001, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 777-782
Zheng XH
;
Qu B
;
Wang YT
;
Dai ZZ
;
Yang H
;
Liang JW
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浏览/下载:95/12
  |  
提交时间:2010/08/12
3C-SiC
microtwins
X-ray four-circle diffractometer
APCVD
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
SILICON-CARBIDE
PHASE EPITAXY
THIN-FILMS
GAN
SI
SUBSTRATE
DEFECTS
NITRIDE
MBE
Ion bombardment as the initial stage of diamond film growth
期刊论文
journal of applied physics, 2001, 卷号: 89, 期号: 3, 页码: 1983-1985
Liao MY
;
Qin FG
;
Zhang JH
;
Liu ZK
;
Yang SY
;
Wang ZG
;
Lee ST
收藏
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浏览/下载:44/0
  |  
提交时间:2010/08/12
BIAS-ENHANCED NUCLEATION
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
BEAM DEPOSITION
MECHANISM
SILICON
SPECTROSCOPY
The microstructure and its high-temperature annealing behaviours of a-Si : O : H film
期刊论文
acta physica sinica, 2001, 卷号: 50, 期号: 12, 页码: 2418-2422
Wang YQ
;
Chen CY
;
Chen WD
;
Yang FH
;
Diao HW
收藏
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浏览/下载:82/6
  |  
提交时间:2010/08/12
a-Si : O : H
nc-Si
microstructure
annealing
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
AMORPHOUS SIO2
OPTICAL-PROPERTIES
SILICON
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