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科研机构
兰州大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1982 [1]
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发表日期:1982
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用硅烷和甲烷辉光放电法制备的a-Si_xC_(1-x):H薄膜及光电性能的研究
期刊论文
太阳能学报, 1982, 期号: 4, 页码: 353-359
作者:
陈光华
;
张仿清
;
徐希翔
;
杜宁
;
王会生
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提交时间:2015/04/27
辉光放电法:6494
光电性能:4626
a-Si:3082
硅烷:2785
H膜:2419
甲烷:2080
光隙:1744
ESCA分析:1739
电子结合能:1303
C含量:1099
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