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大连理工大学 3 长春光学精密机械与物理研究所 3 光电技术研究所 3
声学研究所 3 厦门大学 2 上海微系统与信息技术研究所 1
自动化研究所 1 华南理工大学 1 沈阳自动化研究所 1

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