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山东大学 12 半导体研究所 12 上海微系统与信息技术研究所 10
苏州纳米技术与纳米仿生研究所 2 安徽大学 2 西安光学精密机械研究所 2
北京大学 1 西安交通大学 1 物理研究所 1
北京航空航天大学 1 过程工程研究所 1 四川大学 1
华南理工大学 1 华中师范大学 1 武汉大学 1
上海光学精密机械研究所 1 合肥物质科学研究院 1 广州能源研究所 1
上海硅酸盐研究所 1

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