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半导体研究所 215 西安光学精密机械研究所 47 微电子研究所 36
厦门大学 20 北京大学 8 上海技术物理研究所 8
长春光学精密机械与物理研究所 7 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 4 清华大学 3
上海微系统与信息技术研究所 3 西安交通大学 2 金属研究所 2
山东大学 2 近代物理研究所 2 物理研究所 1
大连理工大学 1 福建物质结构研究所 1 新疆理化技术研究所 1
山东师范大学 1 武汉大学 1 上海光学精密机械研究所 1
广州能源研究所 1

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