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共17条，第1-17条
西安光学精密机械研究所 19 厦门大学 11 半导体研究所 9
上海微系统与信息技术研究所 4 上海技术物理研究所 4 大连理工大学 2
金属研究所 2 北京工业大学 1 北京大学 1
西安交通大学 1 物理研究所 1 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 1
长春光学精密机械与物理研究所 1 微电子研究所 1 高能物理研究所 1
上海电子信息职业技术学院 1 工程热物理研究所 1

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