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金属研究所 63 微电子研究所 46 新疆理化技术研究所 21
上海微系统与信息技术研究所 18 西安光学精密机械研究所 14 福建物质结构研究所 11
兰州理工大学 9 北京大学 8 清华大学 7
厦门大学 7 大连理工大学 7 上海技术物理研究所 6
华南理工大学 5 半导体研究所 5 西安交通大学 4
过程工程研究所 3 生态环境研究中心 3 北京工业大学 2
宁波材料技术与工程研究所 2 兰州化学物理研究所 2 西北工业大学 1
中国矿业大学（徐州） 1 广州地球化学研究所 1 长春光学精密机械与物理研究所 1
大连化学物理研究所 1 青岛生物能源与过程研究所 1 山东大学 1
河北大学 1 武汉大学 1 重庆绿色智能技术研究院 1
云南天文台 1 西安理工大学 1 沈阳自动化研究所 1
烟台海岸带研究所 1

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