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微电子研究所 41 西安光学精密机械研究所 19 上海微系统与信息技术研究所 16
上海光学精密机械研究所 10 长春应用化学研究所 10 金属研究所 9
兰州化学物理研究所 9 厦门大学 7 半导体研究所 7
清华大学 4 北京大学 4 上海应用物理研究所 4
烟台海岸带研究所 4 兰州理工大学 3 大连理工大学 3
宁波材料技术与工程研究所 3 西安交通大学 2 大连化学物理研究所 2
过程工程研究所 2 上海技术物理研究所 2 北京航空航天大学 1
深圳先进技术研究院 1 长春光学精密机械与物理研究所 1 高能物理研究所 1
地球化学研究所 1 上海大学 1 重庆绿色智能技术研究院 1
中国石油大学（北京） 1 生态环境研究中心 1 上海硅酸盐研究所 1

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