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当前检索式 ((ALL：等离子增强化学气相沉积))
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兰州化学物理研究所 29 南开大学 27 兰州理工大学 25
大连理工大学 20 半导体研究所 18 西安交通大学 13
上海微系统与信息技术研究所 12 金属研究所 11 兰州大学 9
长春光学精密机械与物理研究所 8 宁波材料技术与工程研究所 8 河北大学 7
暨南大学 7 合肥物质科学研究院 7 厦门大学 6
西安光学精密机械研究所 5 高能物理研究所 3 上海大学 3
北京大学 2 电子学研究所 2 微电子研究所 2
过程工程研究所 2 上海应用物理研究所 2 四川大学 2
重庆绿色智能技术研究院 2 武汉理工大学 2 沈阳自动化研究所 2
清华大学 1 西北工业大学 1 物理研究所 1
中国矿业大学（徐州） 1 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 1 电工研究所 1
华南理工大学 1 辽宁师范大学 1 成都理工大学 1
河南大学 1 西安理工大学 1 近代物理研究所 1

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