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上海微系统与信息技术研究所 145 上海光学精密机械研究所 37 半导体研究所 16
兰州理工大学 12 厦门大学 10 北京大学 8
清华大学 5 大连理工大学 5 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 5
上海应用物理研究所 5 西安光学精密机械研究所 5 北京航空航天大学 3
金属研究所 3 新疆理化技术研究所 3 西安交通大学 2
深圳先进技术研究院 2 长春光学精密机械与物理研究所 2 过程工程研究所 2
兰州化学物理研究所 2 力学研究所 1 北京工业大学 1
江苏大学 1 大连化学物理研究所 1 高能物理研究所 1
自动化研究所 1 上海电子信息职业技术学院 1 上海技术物理研究所 1

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