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共13条，第1-13条
半导体研究所 23 上海技术物理研究所 8 物理研究所 6
上海微系统与信息技术研究所 6 长春光学精密机械与物理研究所 5 北京大学 4
金属研究所 4 厦门大学 2 西安交通大学 2
兰州大学 1 微电子研究所 1 长春应用化学研究所 1
西安光学精密机械研究所 1

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