激光平面度仪的研究

	激光平面度仪的研究
	杨文志 ; 景洪伟 ; 曹学东
刊名	红外与激光工程
	2008
卷号	37 期号:z 页码:144
ISSN号	1007-2276
中文摘要	针对大型环形平面尤其是非连续平面(带孔、有槽、中间有凸台子、中间间断、异形平面)平面度的检测,研制了一种新型测量设备—激光平面度仪。该仪器采用了激器、五棱镜与转台组合产生基准平面,以PSD作为探测器;通过测量被测点与基准面的高度差获取平面度数据。该仪器的测量不确度为4.6μm。
收录类别	其他
语种	中文
公开日期	2015-12-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2102]
专题	光电技术研究所_质量处（质检中心）
推荐引用方式 GB/T 7714	杨文志,景洪伟,曹学东. 激光平面度仪的研究[J]. 红外与激光工程,2008,37(z):144.
APA	杨文志,景洪伟,&曹学东.(2008).激光平面度仪的研究.红外与激光工程,37(z),144.
MLA	杨文志,et al."激光平面度仪的研究".红外与激光工程 37.z(2008):144.