点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

	点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析
	代晓珂 ; 金春水 ; 于杰
刊名	中国光学
	2014-10-15
期号	5 页码:855-862
关键词	光学检测点衍射干涉仪波面参考源误差研究公差分析
中文摘要	为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点,同时又能实现大数值孔径(NA)光学系统的检测,设计了一种新型的波面参考源(WRS),它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点,可满足大NA极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。本文在分析各种误差的基础上,搭建了WRS原理光路并对WRS的系统误差标定算法进行详细的研究,得到WRS标定时旋转平台的角度公差为0.5°,跳径时偏离系数为0.5%。这一新型WRS误差分析及标定对于实现高精度的检测具有十分重要的意义,最终为实现WRS系统误差标定提供理论基础。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43418]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	代晓珂,金春水,于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学,2014(5):855-862.
APA	代晓珂,金春水,&于杰.(2014).点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析.中国光学(5),855-862.
MLA	代晓珂,et al."点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析".中国光学 .5(2014):855-862.