高精度平面绝对标定

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	高精度平面绝对标定
	苗二龙 ; 苏东奇 ; 彭石军
刊名	激光与光电子学进展
	2014-05-09
期号	5 页码:114-120
关键词	测量面形检测绝对标定液面旋转平移绝对标定
中文摘要	在高精度面形检测中,绝对标定是提高检测精度的重要方法。但在平面绝对标定中,无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都无法对平面的power项进行绝对标定。而利用液面进行绝对标定虽然可以给出完整的平面标定,但是液面易受环境影响,重复性难以提高,因此标定精度往往不高。针对这一难题,利用Fizeau干涉仪,采用液面方法对平面的power项单独进行绝对标定,结合旋转平移绝对标定方法对平面其他Zernike项进行标定,从而得到了完整的高精度的平面绝对标定。不仅提高了检测精度,也对平面进行了完整的高精度标定,大大提高了干涉仪的检测精度。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43234]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	苗二龙,苏东奇,彭石军. 高精度平面绝对标定[J]. 激光与光电子学进展,2014(5):114-120.
APA	苗二龙,苏东奇,&彭石军.(2014).高精度平面绝对标定.激光与光电子学进展(5),114-120.
MLA	苗二龙,et al."高精度平面绝对标定".激光与光电子学进展 .5(2014):114-120.