大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究

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	大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究
	戚二辉 ; 罗霄 ; 郑立功 ; 张学军
刊名	光电子.激光
	2014-07-14
期号	7 页码:1370-1375
关键词	光学检测五棱镜扫描系统非递归运算大口径非圆形平面镜 Monte-Carlo分析
中文摘要	为了解决非圆形大口径光学平面镜加工过程中的高精度检测问题,针对五棱镜扫描技术,使用一种基于多项式内积以及cholesky分解的非递归方法进行数据处理,同时编写了检测拟合程序,并结合工程实例,对30m望远镜(TMT),thirty meter telescope)项目的三镜(2.5m×3.5m椭圆形平面镜)进行了模拟检测的Monte-Carlo分析。分析结果表明,五棱镜扫描系统对TMT三镜低阶像差的检测精度可以达到30.6nm 5 rms,对power项、astigmatism项的检测精度分别达到9.6nm rms及13.7nmrms,能够完成大口径非圆形光学平面镜低像差的高精度检测。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42992]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	戚二辉,罗霄,郑立功,等. 大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究[J]. 光电子.激光,2014(7):1370-1375.
APA	戚二辉,罗霄,郑立功,&张学军.(2014).大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究.光电子.激光(7),1370-1375.
MLA	戚二辉,et al."大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究".光电子.激光 .7(2014):1370-1375.