非接触式扫描反射镜转角测量系统

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	非接触式扫描反射镜转角测量系统
	王洋 ; 颜昌翔 ; 胡春晖 ; 汪逸群 ; 顾志远 ; 张达 ; 张新洁
刊名	光学精密工程
	2014-04-14
期号	4 页码:850-855
关键词	光谱成像仪扫描镜非接触测量角度测量多项式拟合误差分析
中文摘要	为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统。介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射镜增大测角范围。为了降低对加工及装调精度的要求,对系统进行了误差分析,给出了采用多项式拟合法进行角度测量的理论依据。讨论了影响系统检测精度的一系列误差源,计算了系统测量的总误差。最后进行了相关的测量实验。实验结果表明:系统的检测系统分辨率为2.5″,测角范围为11°,测角精度可达3″,可以满足扫描反射镜对角度测量系统提出的高精度、非接触、大测角范围的要求。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42798]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王洋,颜昌翔,胡春晖,等. 非接触式扫描反射镜转角测量系统[J]. 光学精密工程,2014(4):850-855.
APA	王洋.,颜昌翔.,胡春晖.,汪逸群.,顾志远.,...&张新洁.(2014).非接触式扫描反射镜转角测量系统.光学精密工程(4),850-855.
MLA	王洋,et al."非接触式扫描反射镜转角测量系统".光学精密工程 .4(2014):850-855.