30m望远镜三镜镜面面形误差的斜率均方根评价

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	30m望远镜三镜镜面面形误差的斜率均方根评价
	王富国 ; 安其昌
刊名	光学精密工程
	2014-05-14
期号	5 页码:1171-1175
关键词	光学检测 30m望远镜表面面形面形误差斜率均方根均方根
中文摘要	由于传统的均方根方法在评价大口径反射镜时难以精确表达光学表面的中空间频率误差,本文提出了基于斜率均方根(SlopeRms)的误差评价方法来评价光学表面面形。该方法先以Zernike多项式拟合光学表面面形,在此基础上求解不同空间间隔上的斜率均方根。这种评价方法可以很好地区分小尺寸磨削工具造成的误差和大口径反射镜在多点支撑下造成的面形误差。文中建立了SlopeRms的数学模型,推导了SlopeRms的计算方法,并以此方法为基础对30m望远镜(TMT)三镜面形进行了评价。结果显示,采用斜率均方根的评价方法得到的光学表面面形值达到0.9μrad,优于传统的RMS评价方法(RMS=115nm),满足设计要求。结果显示,基于斜率均方根的误差评价方法能更加全面和客观地评价大口径反射镜面形,具有实际意义。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42785]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王富国,安其昌. 30m望远镜三镜镜面面形误差的斜率均方根评价[J]. 光学精密工程,2014(5):1171-1175.
APA	王富国,&安其昌.(2014).30m望远镜三镜镜面面形误差的斜率均方根评价.光学精密工程(5),1171-1175.
MLA	王富国,et al."30m望远镜三镜镜面面形误差的斜率均方根评价".光学精密工程 .5(2014):1171-1175.