移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计

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	移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计
	宋莹 ; 巴音贺希格 ; 齐向东 ; 张宁 ; 唐玉国
刊名	光学精密工程
	2014-02-14
期号	2 页码:318-324
关键词	全息光栅曝光莫尔条纹相位锁定声光调制器
中文摘要	建立了移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统以提高全息光栅槽型对比度并降低由外部环境造成的曝光干涉条纹相位移动。根据系统的组成原理,分析了相位测量系统中莫尔条纹的产生条件及其与干涉条纹相位变化的关系,给出了探测器的选择方法。根据系统精度要求计算了A/D转换位数,自行设计了数字控制系统。提出采用光束移频方法来调整条纹相位,应用声光调制器对干涉条纹移动进行实时校正。实验结果表明,该系统采样频率可以达到5kHz,对干涉条纹漂移和10Hz以下的低频振动都有较好的抑制作用,相位变化3σ值小于0.12rad,即相位变化小于±0.02个干涉条纹周期。该系统可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,较好地满足全息曝光的要求。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42686]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	宋莹,巴音贺希格,齐向东,等. 移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计[J]. 光学精密工程,2014(2):318-324.
APA	宋莹,巴音贺希格,齐向东,张宁,&唐玉国.(2014).移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计.光学精密工程(2),318-324.
MLA	宋莹,et al."移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计".光学精密工程 .2(2014):318-324.