平面全息离子束刻饰光栅研制
唐玉国 ; 巴音贺希格 ; 齐向东 ; 李文昊 ; 谭鑫 ; 于宏柱 ; 甘泽龙 ; 崔继承 ; 冯树龙 ; 张方程 ; 王长庚 ; 王丽娟 ; 张成山 ; 段佩华 ; 丁东
2011-12-31
获奖类别吉林省科学技术进步奖
获奖等级一等奖
关键词全息光栅 莫尔条纹 离子束刻蚀 衍射效率
学科主题全息技术;仪器仪表基础理论;光学测试仪器
中文摘要该项目实现了理论设计、在线实时监测和工艺创新齐头并进的全息光栅制作系统,将严格电磁场理论设计方法引入到全息曝光、显影、离子束刻蚀等工艺环节,全面实施光栅理论指导下的产品形成过程的在线实时监测,设计制作出性能优异的平面全息光栅。该项目研制出国内首台全自动、平面光栅连续光谱衍射效率测试仪,提高了测试精度、检测可靠性与检测效率。该项目建立了光栅企业标注,申请修改了光栅行业标准。通过本系统设计开发,能够生产出多种类型的高性能平面全息光栅。除杂散光外,光栅衍射效率、波前像差、表面质量、光谱分辨力与法国、美国等发达国家生产的光栅的水平相当;杂散光强度较以前有明显的降低,接近国际水平。自该系统应用以来,平面全息光栅净产值逐年上升,至2010年,净产值已达758万。本项目设计、制作出多种规格性能优异的平面全息光栅,基本满足国内光谱仪器领域对平面全息光栅的需求,为促进我国光谱分析领域发展具有重要作用。目前,已向国内24个地区296家单位提供各种类型光栅,并与国际知名企业,如美国海洋光学、日本岛津等建立长期业务往来,使我国平面全息光栅逐步走进国际市场。
语种中文
内容类型成果
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42216]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果
推荐引用方式
GB/T 7714
唐玉国,巴音贺希格,齐向东,等. 平面全息离子束刻饰光栅研制. 吉林省科学技术进步奖:一等奖. 2011.
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