| LKZ 离子刻蚀终点检测仪 | |
| 米宝永 ; 郝德阜 ; 张庆英 ; 孙树人 ; 宋克非 ; 刘金环 | |
| 1995-10 | |
| 获奖类别 | 中科院科技进步奖 |
| 获奖等级 | 三等奖 |
| 关键词 | 离子刻蚀 检测仪 |
| 中文摘要 | 本仪器集发射光谱和激光反射法于一体，用以在线监测ＬＳＩ的刻蚀工艺过程并自动制终。可用在等离子及反应离子刻蚀机上监测多晶硅、氢化硅、二氧化硅、铝、钥的刻蚀及去胶。可实现刻蚀工艺自动化。监测精度达到８０Ａ，填补了国内ＬＳＩ生产工艺化线监测设备的一项空白，达到了８０年代后期国际先进水平。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/41678]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 米宝永,郝德阜,张庆英,等. LKZ 离子刻蚀终点检测仪. 中科院科技进步奖:三等奖. 1995. |
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