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	一种微光学器件装调装置
	曲研 ; 林学春 ; 王宝华 ; 王丽荣 ; 王祥鹏 ; 陈凯 ; 郭渭荣
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院半导体研究所
学科主题	半导体器件
公开日期	2014-03-19
申请日期	2013-11-27
专利申请号	CN201310616178.4
内容类型	专利
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25440]
专题	半导体研究所_全固态光源实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	曲研,林学春,王宝华,等. 一种微光学器件装调装置.

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