6-PSS型光学元件精密轴向调节机构

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	6-PSS型光学元件精密轴向调节机构
	郭抗 ; 巩岩
刊名	光学精密工程
	2013-10-15
期号	10 页码:2648-2655
关键词	光刻物镜光学元件调节机构并联机构一体化结构 6-PSS
中文摘要	设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种圆角薄柔性铰链结构作为6-PSS型并联机构中的球铰副,实现了轴向调节机构的结构一体化,简化了光机组件的装调过程,提高了机构的机械精度;利用空间矢量法分析了机构输入构件与输出构件之间的位置关系,推导出了机构的传动比表达式,为机构主要结构尺寸的选取提供了依据。轴向调节机构的验证试验结果表明:机构传动比的理论计算值接近于实测值;轴向调节机构的调节行程为74.4μm,调节精度在40nm以内,满足光刻物镜中光学元件轴向调节机构的使用需求。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38613]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	郭抗,巩岩. 6-PSS型光学元件精密轴向调节机构[J]. 光学精密工程,2013(10):2648-2655.
APA	郭抗,&巩岩.(2013).6-PSS型光学元件精密轴向调节机构.光学精密工程(10),2648-2655.
MLA	郭抗,et al."6-PSS型光学元件精密轴向调节机构".光学精密工程 .10(2013):2648-2655.