铈添加对Al-Mn靶材物相转变及应用性能的影响

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	铈添加对Al-Mn靶材物相转变及应用性能的影响
	鲁飞 ; 刘树峰 ; 许亿 ; 李慧 ; 张帅 ; 温永清
刊名	中国稀土学报
	2024-04-09
卷号	42 期号:02 页码:330-338
关键词	AlMn-Ce 合金靶材塑韧性非晶耐蚀性
ISSN号	1000-4343
英文摘要	采用真空感应炉制备不同Ce含量AlMn-Ce合金靶材。利用X射线衍射仪、GSAS软件、扫描电镜、能谱仪、万能力学试验机和布氏硬度仪分析靶材物相组成、含量、分布规律及合金塑韧性。同时选用Al_(85)Mn_(15)-10%Ce(质量分数)合金靶材进行镀膜试验,利用X射线衍射仪和动电位极化曲线测试涂层相结构和耐腐蚀性能。结果表明:未添加Ce的Al_(85)Mn_(15)合金中Al-Mn化合物形成粗大树枝晶组织,硬度高,脆性大,镀膜过程靶面开裂,无法使用;加入Ce后,Ce与Al,Mn优先化合形成Al_(10)CeMn_2初生相,能够有效制约Al-Mn化合物粗化生长,改善组织均匀性。Ce含量为10%时,合金压缩应变率达2.05%,塑韧性最好,镀膜过程靶面完整;进一步增加Ce含量(20%以上),过多的Ce与Al化合形成板条状Al_(11C)e_3初生相,靶材塑韧性下降。Al_(85)Mn_(15)-10%Ce靶材镀膜后形成非晶涂层,自腐蚀电位为-0.49 V,自腐蚀电流密度为5.1×10~(-8)A·cm~(-2),表现出良好的耐腐蚀性能。Ce添加能够改善Al_(85)Mn_(15)合金脆性,确保靶材磁控溅射镀膜使用要求;同时有助于促使Al-Mn基涂层在相对较低Mn(Mn=15%(原子分数))含量条件下形成非晶结构,提升涂层耐蚀性能。
语种	中文
资助机构	内蒙古自治区自然基金资助项目（2020MS0515） ; 国家重点研发计划资助项目（2021YFB3500100）资助
其他责任者	鲁飞
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/94685]
专题	宽域飞行工程科学与应用中心
作者单位	1.中国科学院大学材料科学与光电技术学院 2.中国科学院力学研究所 3.包头稀土研究院白云鄂博稀土资源研究与综合利用国家重点实验室,稀土冶金及功能材料国家工程研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	鲁飞,刘树峰,许亿,等. 铈添加对Al-Mn靶材物相转变及应用性能的影响[J]. 中国稀土学报,2024,42(02):330-338.
APA	鲁飞,刘树峰,许亿,李慧,张帅,&温永清.(2024).铈添加对Al-Mn靶材物相转变及应用性能的影响.中国稀土学报,42(02),330-338.
MLA	鲁飞,et al."铈添加对Al-Mn靶材物相转变及应用性能的影响".中国稀土学报 42.02(2024):330-338.