计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差（英文）

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	计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差（英文）
	蔡志华 ; 王孝坤 ; 胡海翔 ; 程强 ; 王若秋 ; 张海东
刊名	中国光学
	2022-01-15
卷号	15 期号:01 页码:90-100
英文摘要	单光楔补偿检测法具有良好的适用性、鲁棒性和灵活性，但是在检测光路中存在多种误差耦合，误差解耦困难，影响了单光楔补偿检测的精度和可信度。针对这一问题，本文提出一种计算全息法(Computer Generation Hologram,CGH)标定单光楔补偿检测光路系统误差的新方法。文中首先分析了单光楔补偿检测法系统误差的来源，并对CGH标定光楔补偿器的可行性进行了分析。结合工程实例，对口径为150 mm的单光楔补偿器设计了CGH，经分析可得CGH的标定精度为1.98 nm RMS,CGH标定后单光楔补偿检测精度为3.43 nm RMS，该精度能够满足大口径凸非球面反射镜的高精度检测要求。结果表明：CGH可以准确标定单光楔补偿器的位姿和检测光路的系统误差，解决了检测光路中误差解耦困难的问题，提高了单光楔补偿检测的准确性和可靠性。使用CGH标定得到Tap#2和Tap#3的检测光路系统误差分别为0.023λRMS和0.011λRMS。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66274]
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位	1.中国科学院大学 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	蔡志华,王孝坤,胡海翔,等. 计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差（英文）[J]. 中国光学,2022,15(01):90-100.
APA	蔡志华,王孝坤,胡海翔,程强,王若秋,&张海东.(2022).计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差（英文）.中国光学,15(01),90-100.
MLA	蔡志华,et al."计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差（英文）".中国光学 15.01(2022):90-100.